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无损检测：通过三维工业CT/X-RAY以及超声扫描设备，样品要求：

工业CT：

CT：一般要求样品尺寸不大于50mmx50mm。mkt@gdhnjc.com

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块状样品基本要求

（1）需要电解减薄或离子减薄，芯片鉴定、也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；

（3）无磁性；

三、

X—Ray：不大于300mmx300mm

C-SAM：无特殊要求

SEM：

粉末样品基本要求

（1）单颗粉末尺寸最好小于1μm；

（2）无磁性；

（3）以无机成分为主，复杂工程问题解决方案。电子器件的内部缺陷提供精准定位

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