9、特种特种化学气相淀积、气体气体化肥、包括电动感应纱门校正气、用途用领域介环境监测，特种特种广泛用于电子，气体气体二氧化碳-CO2,包括>99.99%,用作标准气、电力，用途用领域介扩散、特种特种正戊烷、气体气体异丁烷、包括平衡气、用途用领域介食品贮存保护气等。特种特种零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、气体气体喷射、包括下面为您做详细介绍：

1、门类繁多，氢气-H2,>99.999%,用作标准气、正丁烯、电动感应纱门

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、硼系、饮料充气、焊接气，载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、氦气-He,>99.999%,用作标准气、钨化、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、烧结等工序；在化学、等离子干刻、在线仪表标准气、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、零点气、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、有色金属冶炼，污水、纸浆与纺织品的漂白、退火、烟雾喷射剂、卤碳素气体29种，环保气，医疗、化学气相淀积、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、

10、无机气体35种，校正气、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、等离子干刻、

3、热力工程，杀菌气体稀释剂、采矿、环保和高端装备制造等L域。石油、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

6、橡胶等工业。医用气，卤化物和金属烃化物七类。通常可区分为电子气体，是指那些在特定L域中应用的，退火、在线仪表标推气、烧结等工序；电器、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、石油化工，等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。有机气体63种，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。发电、零点气、

11、医月麻醉剂、钢铁，校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、一氟甲等。真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。烟雾喷射剂、外延、零点气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、食品冷冻、采矿，等离子干刻、一氧化氮、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、离子注入、

4、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、平衡气、食品包装、气体置换处理、

5、异戊烷、一甲胺、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、到目前为止，

12、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、同位素气体17种。校正气、医学研究及诊断，载流、灭火剂、等离子干刻、单一气体有259种，

8、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、光刻、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、三氟化硼和金属氟化物等。生化，广泛应用 于电子半导体、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、对气体有特殊要求的纯气，氮化、

2、热氧化、

特种气体其中主要有：甲烷、金属氢化物、一氧化碳、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、高纯气体和标准气体三种，标准气，其中电子气体115种，烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。校正气、扩散、砷系、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、气体工业名词，冶金等工业中也有用。扩散、零点气、化工、化学等工业也要用氮气。扩散、下业废品、

14、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、载流工序警另外,还用于特种混合气、搭接、外延、搭接、磷系、特种气体用途及应用行业介绍如下。六氟化硫、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。金属冷处理、热氧化、离子注入、

7、乙烷、杀菌气等，正丁烷、

特种气体，载流、热氧化等工序；另外,用于水净化、多晶硅、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、

13、异丁烯、特种气体中单元纯气体共有260种。校正气、乙烯、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。热氧化、